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【電商】MRO供應(yīng)鏈介紹日本miraial圓晶盒 KT3003 12寸標(biāo)準(zhǔn)FOUP

更新時(shí)間：2026-01-28

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參數(shù)	數(shù)值
型號(hào)	KT3003（12 寸標(biāo)準(zhǔn) FOUP）
適配晶圓	300mm（12 英寸）
晶圓容量	25 片（標(biāo)準(zhǔn)槽位）
主體材質(zhì)	高純度 PC（聚碳酸酯）+ PBT（聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯）
外形尺寸（約）	長(zhǎng) 389.5mm× 寬 327mm× 高 341.8mm（參考同系列 FOUP）
接口規(guī)范	SEMI E47.1/E62，兼容自動(dòng)門與手動(dòng)操作
適配系統(tǒng)	AMHS 自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)、FOUP Load Port（如 TDK TAS300）
潔凈等級(jí)	Class 1（內(nèi)部微環(huán)境）
可選配件	頂部法蘭、InfoPad（數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊）、防靜電套件

高潔凈兼容：PC/PBT 材質(zhì)低釋氣、低顆粒，適配半導(dǎo)體前段高潔凈制程，防止晶圓污染。
雙1開模式：支持 Load Port 自動(dòng)開關(guān)門與手動(dòng)開關(guān)，兼顧自動(dòng)化生產(chǎn)與人工維護(hù)需求。
結(jié)構(gòu)耐用：模塊化設(shè)計(jì)，易損件可單獨(dú)更換，降低維護(hù)成本，符合環(huán)?；厥招枨?。
精準(zhǔn)定位：符合 SEMI 機(jī)械接口規(guī)范，確保與 Load Port、AMHS 精準(zhǔn)對(duì)接，提升傳送穩(wěn)定性。
防靜電設(shè)計(jì)：可選防靜電涂層 / 套件，適配敏感制程，避免靜電損傷晶圓。

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2026.1.28

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