ULVAC愛發(fā)科測(cè)定子

ULVAC愛發(fā)科測(cè)定子
這是一個(gè)新系列的傳感器類型 “G-TRAN系列復(fù)合電離真空計(jì)“，可以實(shí)現(xiàn)不同的測(cè)量范圍。作為B-A型電離真空計(jì)、可以測(cè)量超高真空。保留了以往的寬幅測(cè)壓和低運(yùn)行成本的理念，但進(jìn)行了改進(jìn)，更加人性化。

產(chǎn)品型號(hào)：SH200-A
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-12-03
訪問(wèn) 量：1127

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產(chǎn)品詳情

復(fù)合電離真空計(jì)

SH200 系列

SH200-A / R / E

ULVAC愛發(fā)科測(cè)定子

這是一個(gè)新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計(jì)"，可以實(shí)現(xiàn)不同的測(cè)量范圍。作為B-A型電離真空計(jì)、可以測(cè)量超高真空。保留了以往的寬幅測(cè)壓和低運(yùn)行成本的理念，但進(jìn)行了改進(jìn)，更加人性化。

特點(diǎn)

可連接到不同的測(cè)量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
操作性的提高：通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
更強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容：除模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
壓力測(cè)量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10⁺⁵～5×10^-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測(cè)量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。

用途

用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控，包括半導(dǎo)體和電子元件。
用于具有多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測(cè)量，例如in-line式和枚葉式
高真空?超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量

ULVAC愛發(fā)科測(cè)定子

規(guī)格

型號(hào)		SH200-A	SH200-R	HT200-E （即將上市）
規(guī)格		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以連接的傳感器		多離子傳感器：1本皮拉尼真空計(jì)SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測(cè)量精度（N₂）		SH200本體模式：±2％
取樣時(shí)間		60ms 5回移動(dòng)平均処理
測(cè)定値出力		出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^
更新時(shí)間		60msec
控制輸入信號(hào)		FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動(dòng)作、負(fù)邏輯 * FIL ON/OFF信號(hào)使用方式因模式而異	-	-
制御出力信號(hào)		傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信規(guī)格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示		POWER/ERROR：電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流		1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS		電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
測(cè)量部耐圧性		2×10⁺⁵Pa （絕對(duì)壓力） * 需要單獨(dú)考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量		17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用溫度范圍		10～50℃
使用濕度范圍		15～80%(不結(jié)露)
保管溫度		-20～65℃(非通電時(shí)、不結(jié)露)
IP保護(hù)等級(jí)		IP30
電源電壓		DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量		調(diào)節(jié)器：約280g　測(cè)定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格		CE
選項(xiàng)	多離子傳感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y₂O₃殼其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
	皮拉尼真空計(jì)傳感器	SWU10-R　※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
	皮拉尼真空計(jì)	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
	大氣壓傳感器	SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單位電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	顯示單元	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	顯示單元電纜	SH200～顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
	連接器	入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	検査成績(jī)書, 一般校正試験成績(jī)書, JCSS校正証明書

各種模式規(guī)格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3種方式可選，多規(guī)格單體模式、皮拉尼真空計(jì)的組合模式、皮拉尼真空計(jì)或大氣壓傳感器的三重組合模式

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 單體模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 組合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 組合模式
測(cè)量圧力范圍	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺¹Pa	5.0×10^-8to 1.0×10⁺⁵Pa	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺⁵Pa
測(cè)量精度	5.0×10^-8to 1.0×10⁺¹Pa： ±15%	5.0×10^-8to 1.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	5.0×10^-8 to 4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa?基準(zhǔn)溫度25℃)
連接方式圖解
測(cè)定壓力范圍圖解	當(dāng)需要確認(rèn)大氣壓，如腔體打開的情況下，推薦使用三合一組合